Neues Forschungsgerät am Leipziger Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung

Dem Leipziger Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (IOM) im Wissenschaftspark Permoserstrasse steht ein neues, hochmodernes Forschungsgerät zum Nachweis von geringsten Stoffkonzentrationen in dünnsten Schichten zur Verfügung.

13.09.2004 Sachsen Pressemeldung Sächsisches Staatsministerium für Wissenschaft, Kultur und Tourismus

Das Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometer (TOF-SIMS) der Münsteraner Firma ION-TOF konnte mit Unterstützung des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF) und des Sächsischen Ministeriums für Wissenschaft und Kunst (SMWK) in Höhe von etwa 1 Million Euro in dem neuen Laborgebäude des IOM installiert werden.

Mit diesem Analysegerät wird es den Mitarbeitern des Leibniz-Instituts möglich, in dünnsten Oberflächenbereichen von einigen Millionstel Millimeter Dicke (Nanometer) Fremdatome geringster Konzentration tiefenabhängig nachzuweisen. Die Nachweisempfindlichkeit ist so extrem hoch, dass beispielsweise ein einziges Fremdatom einer Verunreinigung oder Dotierung unter hunderttausend andersartigen Atomen mit dem TOF-SIMS-Gerät festgestellt werden kann. Diese hohe Nachweisempfindlichkeit ist dabei kombiniert mit einer hohen Ortsauflösung im Tausendstel Millimeter-Bereich (Mikrometer) für die lokale Ausdehnung von Fremdstoffverteilungen, d.h. es kann eine Zusammensetzungsmikroskopie betrieben werden.

Die Wissenschaftler des IOM arbeiten auf verschiedenen Gebieten der Nanotechnologie in enger Kooperation mit wissenschaftlichen Instituten und renommierten Firmen der Mikroelektronik, Optik und chemischen Industrie im In- und Ausland. Das neue TOF-SIMS-Gerät wird dabei u.a. eingesetzt, um die Verunreinigungen geringster Konzentration an optischen Oberflächen nach einer ultrapräzisen Glättung nachzuweisen, die Konzentrationsverteilung in Multischichtsystemen für die nächste Generation der Lithographie, die EUV-Lithographie, zu analysieren, sowie die Konzentration von Fremdstoffen an Grenzflächen zwischen Polymer-Metallverbünden und an biokompatiblen Körperimplantaten zu bestimmen.

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